Unter Spezialgasen versteht man binäre oder Mehrkomponentengemische aus reinen Gasen, hoch{1}reinen Gasen oder hoch{2}reinen Grundgasen, die bestimmte Reinheits-, Zusammensetzungs- oder Leistungsanforderungen aufweisen und in bestimmten Bereichen eingesetzt werden.
Definition: Für Spezialgase gelten strenge Anforderungen an Reinheit, Verunreinigungsgehalt, Stabilität und andere Indikatoren. Sie werden normalerweise durch spezielle Verfahren (wie kryogene Destillation, Adsorption, Membrantrennung usw.) hergestellt, um den Anforderungen der Präzisionsfertigung oder der wissenschaftlichen Forschung gerecht zu werden.
Klassifizierung: Elektronische Gase: Werden in der Halbleiter-, Anzeigetafel- und anderen Elektronikindustrie verwendet, z. B. Silan, hochreines Ammoniak und Schwefelhexafluorid, die eine extrem hohe Reinheit und Partikelgröße erfordern.
Hoch{0}}reine Gase: Mit einer Reinheit von 99,999 % oder höher, wie hoch-reiner Wasserstoff und hoch-reines Helium, die in der Laboranalyse, Lasertechnologie und anderen Bereichen verwendet werden.
Standardgase: In bestimmten Anteilen gemischte Gase, die zur Instrumentenkalibrierung oder Umweltüberwachung verwendet werden, z. B. Standardmischungen, die Kohlenmonoxid und Schwefeldioxid enthalten.